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多晶硅工藝仿真培訓系統

本系統由樂山職業技術學院與北京東方仿真軟件技術有限公司共同合作開發,能夠滿足多晶硅生產工藝技術綜合實訓的需求、學生的專業課程設計培訓的需求以及多晶硅制取工的技能培訓、鑒定考證的需要。

 

工藝流程介紹:

多晶硅生產仿真軟件采用西門子改良法,生產工藝包括氫氣制備、氯化氫合成、三氯氫硅合成、氯硅烷精餾提純、三氯氫硅還原、尾氣干法分離、四氯化硅氫化、CDI尾氣回收分離八個主要工序。

氫氣制備工序生產的氫氣作為后續工序的氫氣來源。氫氣和氯氣反應生成氯化氫,氯化氫和硅粉生成氯硅烷的合成氣。合成氣經過尾氣干法分離工序的處理,回收氫氣和氯化氫,其余的氯硅烷液體送往精餾提純工序。精餾提純工序脫除的四氯化硅作為氫化工序的原料,精餾出的精制三氯氫硅作為還原工序的原料。精制三氯氫硅和氫氣的混和氣在還原爐內的硅棒上沉積生成多晶硅,其余還原氣送入尾氣干法分離工序。四氯化硅和氫氣的混和氣在氫化爐內反應生成以含有三氯氫硅的氫化氣,送往尾氣干法分離工序分離后循環利用。

從三氯氫硅氫合成工序來的合成氣、從三氯氫硅還原工序來的還原氣、從四氯化硅氫化工序來的氫化氣在此工序被分離成氯硅烷液體、氫氣和氯化氫氣體,分別循環回裝置使用。

 

工藝操作內容包括:

氯硅烷精餾提純單元工藝仿真、四氯化硅氫化單元工藝仿真、尾氣干法回收單元工藝仿真、三氯氫硅還原單元工藝仿真,并配有大量事故處理案例,如:循環水pH降低、三氯氫硅精制塔塔頂純度不夠、停電、氫壓機停機、窺視孔爆炸等。通過事故處理培訓,可以大大提高學員事故處理能力。

 

部分軟件界面:



 
 
     
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